AWM5000 系列微桥气体质量流量传感器采用文丘里管型流量外壳。该系列可测量速度高达 20升/每分(SLPM) 且最大压降为 2.25 H2O 的气流。微桥芯片直接与气流接触，大大减少了由于通气孔或旁路堵塞引起的误差。
坚固、通用的封装
坚固的塑料封装被设计为能承受最高 50 psi 的共模压力，且小型传感元件能承受 100 g 的冲击，而不会影响性能。随附的“AMP”兼容连接器可提供超可靠的连接，适用于要求严苛的应用。
内置信号调节
每个 AWM5000 传感器都包括可执行放大、线性化、温度补偿和气体标定功能的电路系统。无论流量范围 (5、10、15 或 20 SLPM) 或校准气体（氮气、二氧化碳、一氧化二氮或氩气）如何，所有产品都可能达到 1 至 5 Vdc 的线性输出。主动激光可进行所有校准。
补偿温度范围
0°C 至 50°C [32°F 至 122°F]
流量/压力范围
0 SLPM 到 5.0 SLPM
0 SLPM 到 10.0 SLPM
0 SLPM 到 15.0 SLPM
0 SLPM 到 20.0 SLPM
响应时间
最大 60 ms
电源电压
最小 8.0 Vdc，典型值 10.0 Vdc，最大 15.0 Vdc
UNSPSC 代码
41111931
冲击
峰值为 100 g，半正弦为 6 ms（3 次下降，每次沿着 3 轴方向）
输出温漂
±7% 读数
±10% 读数
零位
最小 0.95 Vdc，典型值 1 Vdc，最大 1.05 Vdc
端口类型
1/4 英寸 - 18 NPT
信号调节
放大
可重复性
±0.50% 读数
UNSPSC 商品
41111931 流量传感器
调整点的输出电压
20 SLPM 时为 5.0 Vdc
5 SLPM 时为 5.0 Vdc
15 SLPM 时为 5.0 Vdc
10 SLPM 时为 5.0 Vdc
存储温度
-20°C 至 70°C [-4°F 至 158°F]
介质兼容性
仅干燥气体
重量
60 g
系列名称
AWM5000
功耗
最大 100 mW
工作温度
-20°C 至 70°C [-4°F 至 158°F]
整个温度范围内的零位
典型值 ±0.050 Vdc，最大 ±0.20 Vdc
共模压力
50 psi